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應用案例
根據客戶需求，果果儀器為北京大學深圳研究生院交付了外部調節探針臺。外部調節探針臺是一款針對材料在不同溫度下進行電學測試而設計的產品，可表征材料升溫和降溫階段，其電學性能隨溫度變化的特征。
該外部調節探針臺通過外置探針模組的微分頭結構進行XYZ方向的位移來調節腔體內的探針，進行微米級的移動，移動模組設計在腔體外，不影響腔體內環境。采用液氮致冷、電阻加熱的方式，實現-190~600℃范圍內精準控制，可與電學儀表（如源表、萬用表等）搭配集成，進行變溫原位測試。
產品主要技術參數：
冷熱方式：液氮致冷，電阻加熱
溫控范圍：-190℃~600℃
溫度穩定性：士0.5℃
最大升溫速率：100℃/min@100℃(可定點/程序段控溫)
最大降溫速率：100℃/min@-50℃（可定點/程序段控溫）
載樣臺尺寸：無氧銅；50mm*50mm
光路：反射光路
探針：可調節探針*12(針尖5μm，鈹銅)
探針接口：三同軸BNC
探針位移行程：XY軸：±25mm，Z軸：±10mm
探針位移分辨率：5μm
腔室：真空腔室
果果儀器定制外部調節探針臺應用現場：
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