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快速退火爐RTP600
簡要描述:

快速退火爐RTP600專為半導體高溫處理設計,支持500℃~1000℃范圍內的氧化/擴散/快速退火工藝,采用雙層21×1kW高功率燈管,實現150℃/s極速升溫控制,通過水冷鋁質外殼、石英內腔確保溫度均勻性,兼容2~6英寸晶圓片,結合精密氣體控制提供高效解決方案。

  • 參考價格:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-08-26
  • 訪  問  量:3517

詳細介紹

與溫控技術、原位力學技術等相關的產品,如于晶圓加熱系統、快速退火爐、高低溫試驗箱等,可為客戶提供個性化定制。

果果儀器RTP600快速退火爐專為半導體高溫處理設計,支持500℃~1000℃范圍內的氧化/擴散/快速退火工藝,采用雙層21×1kW高功率燈管,實現150℃/s極速升溫控制,通過水冷鋁質外殼、石英內腔確保溫度均勻性,兼容2~6英寸晶圓片,結合精密氣體控制提供高效解決方案。


快速退火爐RTP600特點:

• 控溫速率:最大升溫速率:150℃/s

• 載樣臺:2~6英寸圓形襯底石英載片臺

• 腔室可升級真空

• 高精度控溫

• 專業溫控軟件
• 支持定制


快速退火爐RTP600參數:

型號

RTP600

腔體

石英腔體

溫控范圍

上下雙層加熱,最高溫度1000℃

控溫速率

最大升溫速率:150℃/s

載樣臺

2~6英寸圓形襯底石英載片臺

腔室

真空/氣氛

功率

21kW

外形尺寸

534mm*608mm*272mm

凈重

42kg


 

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